半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
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该中小型工业企业为亚洲地世界领先的半导首测中小型工业企业,为于珠半圆地,重点实现高集成块的划区和二极管封装测试英文。考虑到当地政府节能环保想要从紧,中小型工业企业决定的实行焦化废水零产生工业。顶目于2020年再启动,202几年6月成立开工,处里股权投资额为200吨/日,总股权投资约2000万块人民币。
废气部分及來源
这项原则划区废水处理拥有下列特性:
高浓硫酸有机废气浓度氟化物,首要产自晶圆割孔后的清理多种工序,氟正离子浓硫酸有机废气浓度高达hg150-200mg/L
内含納米级硅粉小粒,颗粒直径多在100-500nm相互之间
有机肥料加热器端差较高,COD在500-800mg/L
带有少量巨资属如铅、镉等
导电率高,一般来说在2000-3000μS/cm
办理鑫霖环保程序
为实现对象零摆放对象,的工艺定制强调顾虑电镀废水类别提取和资源英文收售:
电镀废水进行分类回收整体
:将含氟工业废水处理与其他的工业废水处理单独收集整理
化学上水解除氟
:运用有级钙盐积淀法,能默契配合更高效积淀池
高等级空气氧化办理
:嗅氧崔化空气氧化可降解难进行处理可挥发物
膜溶缩平台
:采用了DTRO碟管式反渗入,提液数倍为10倍
化掉结晶体
:MVR机械制造水汽再压缩的蒸发掉器办理浓水
常温、干燥系统化
:将凝结盐晾干后有所作为工业化副好产品外售
操作感觉
设计开机运行数据分析提示:
氟化物洗去率>99.9%,喷水氟阳离子<1mg/L
COD总消除率>98%,溢水COD<20mg/L
水资原回收并率>95%,仅行成大量凝结盐
第年可回报高品質循环水约六万吨
沉淀盐饱和度以达到轻工业级规范,确保信息化采取
工程既构建了废水处理工艺零尾气排放,还实现資源再利用创造出了约80万美金/年的格外报酬率。